瑞士万通离子色谱应用一芯中有我--电子级HF

       中美贸易战的大背景下还存在过一场日韩贸易战，大家应该还都有印象，日本对韩禁售电子级HF、氟聚酰亚胺和光刻胶，韩国哀嚎一片。为什么这三类产品对于韩国这么重要呢？

       别的且不说，电子级HF属垄断产品，其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性影响很大，主要用于半导体、太阳能和液晶显示器等领域，是这些行业中关键的辅助材料之一。其中非常大应用市场是半导体产业，约占电子级HF总消耗量47.3%；其次是太阳能产能，比重22.1%；液晶显示器产业则占18.3%。半导体和液晶显示都是韩国的支柱产业，对韩国的重要性不言而喻，因此日本这一招可谓打在韩国的命脉上。因此韩国急忙转向中国，韩国三星、LG、SK海力士等企业开始频频与中国相关企业联系，据说也签订了一些购买协议。

       目前日韩贸易战已经告一段落，中美贸易战却是愈演愈烈，中兴被处罚，华为被全面封锁，中国人民感觉到了芯片产业的重要性，电子级HF做为半导体制作过程中应用非常多的超净高纯试剂之一，质量必须得到保证。

       目前国内现行关于HF的标准只有GB/T 31369-2015《太阳电池用电子级HF》，不过团体标准《电子工业用高HF》和《电子工业用高HF中痕量阴离子含量的测定  离子色谱法》已经完成了意见征集，以上标准中均采用离子色谱来检测HF中的痕量阴离子，离子色谱在保证电子级HF质量方面具有*的作用。

          瑞士万通离子色谱坚实耐用，整机由瑞士进口，取得“Swiss made”标识的使用资格（至少60%成本在瑞士，赋予产品基本特征的阶段也必须在瑞士进行），十分适合HF中阴离子的检测。

       离子色谱法直接分析HF中的痕量阴离子难度较大，高倍稀释虽然能降低高含量的F^-的干扰，但大大降低了待测阴离子的灵敏度。二维离子色谱法为此类样品提供了解决方法。HF其实为一种弱酸，它可以在离子排斥柱上保留，因此可利用这一特性，样品在离子排斥柱上预分离，强酸如HCl、HNO3、H2SO4等在排斥柱上不保留，通过阀切换技术，进入第二套阴离子分析系统分析。

使用Metrosep Organic Acid做为离子排斥分离柱，淋洗液为超纯水，进样体积250μL，流速0.5mL/min，进行预分离；Metrosep A Supp 10-250做为阴离子分离柱，淋洗液： 5.0mM Na2CO3+5.0mM NaHCO3 ； 流速1.0mL/min，柱温50℃，进行阴离子分析。

除电子级HF外，其它高纯试剂如电子级硝酸、电子级磷酸、电子级过氧化氢等原料中痕量阴离子的检测，瑞士万通均可提供完善的解决方案。